1F クリーンルーム
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イエロールーム
- 1EVG mask aligner
- 2EVG接合用基板洗浄
- 3EVGプラズマ活性化装置
- 4ドラフト
- 5二流体洗浄装置
- 6スピンコータ、オーブン
- 7レーザ描画装置 #1
- 8Mask aligner (SUSS) #1
- 9Mask aligner (SUSS) #2
- 10HMDS処理装置
- 11スピンコータ
- 12高温乾燥機
- 13静電塗布装置
メインクリーンルーム
- 1ドラフト
- 2熱酸化炉
- 3UV照射機
- 44探針測定器
- 5ICP-RIE #3
- 6汎用アッシャー
- 7プラズマ/オゾンTEOS CVD
- 8プラズマTEOS CVD
- 9ICP-RIE #1
- 10エリプソメータ
- 11プラズマSiN-CVD
- 12SiNエッチャ
- 13SiCN Cat-CVD
- 14CCP-RIE #3
- 15CCP-RIE #2
- 16二周波励起RIE
- 17EVG wafer bonder
- 18超臨界CO2乾燥装置
- 19ICP-RIE #2
- 20CCP-RIE #1
- 21FAB
- 22イオンビームミリング装置
- 23接触式段差計
- 24イオン注入装置