合成、熱処理、ドーピング
高温乾燥機

メーカー名(型式) | ADVANTEC (DRD360DA) |
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その他 | 使用温度範囲:50℃–650℃ |
備考 |
イオン注入装置

メーカー名(型式) | ULVAC (IMX-3500) |
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用途(特徴) | 半導体ドーパントの注入 |
主な仕様 | イオン種:B, P, As、注入エネルギー:5–150 keV |
サンプルサイズ | 最大⌀8 inch |
その他 | |
備考 |
Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University
メーカー名(型式) | ADVANTEC (DRD360DA) |
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その他 | 使用温度範囲:50℃–650℃ |
備考 |
メーカー名(型式) | ULVAC (IMX-3500) |
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用途(特徴) | 半導体ドーパントの注入 |
主な仕様 | イオン種:B, P, As、注入エネルギー:5–150 keV |
サンプルサイズ | 最大⌀8 inch |
その他 | |
備考 |