2F
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組立評価室
- 0レーザドップラ振動計
- 1紫外線露光装置
- 2パリレン蒸着
- 3フリップチップボンダ #2
- 4ワイヤボンダ #1
- 5ダイサ
- 6ドラフト
- 7スピンコータ
- 8ドラフト
- 9電解めっき装置 #1, #2
光学測定室
分析室
- 1高分解能SEM
- 2FIB
- 3紫外分光エリプソメータ
- 4イオンコーティング装置
- 5断面試料作製研磨装置
- 6断面試料作製ミリング装置
- 7紫外可視近赤外分光光度計
- 8TG/DTA装置
- 9XRD（D8 ADVANCE）
- 10マイクロシステムアナライザ (MSA-500)
- 11マイクロシステムアナライザ (MSA-400)
- 12高周波レーザドップラ計
- 13薄膜評価装置
- 14全真空顕微FT-IR