2F
画像内番号をクリックすると、該当する装置を確認することができます。
組立評価室
- 1ネットワークアナライザ
- 2プローブステーション
- 3インピーダンスアナライザ
- 4レーザドップラ振動計
- 5LSIテスタ
- 6紫外線露光装置
- 7フリップチップボンダ #2
- 8ワイヤボンダ #1
- 9ダイサ
- 10ドラフト
- 11屈折率測定装置
- 12ドラフト
- 13電解めっき装置 #1, #2
- 14スピンコータ
Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University
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