Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University

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設備・装置2F

目次

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1 ネットワークアナライザ 2 プローブステーション 3 インピーダンスアナライザ 4 レーザドップラ振動計 5 LSIテスタ 6 紫外線露光装置 7 フリップチップボンダ #2 8 ワイヤボンダ #1 9 ダイサ 10 ドラフト 11 屈折率測定装置 12 ドラフト 13 電解めっき装置 #1, #2 14 スピンコータ 1 赤外接合評価装置 2 断面試料作製ミリング装置 3 断面試料作製研磨装置 4 圧縮引張試験機 5 等方性Siエッチャ 6 鉛含有複合酸化膜スパッタ装置 7 プラズマダイヤモンドCVD 8 紫外分光エリプソメータ 9 原子層堆積装置 10 14GHzネットワークアナライザ 11 昇温脱離分析装置 1 高分解能SEM 2 FIB 3 熱電子SEM 5 急冷機構付真空加熱装置 6 イオンコーティング装置 7 TG/DTA装置 1 YAGレーザ 2 VIM・蛍光顕微鏡 3 パリレン蒸着 4 ドラフト 5 PLD 6 ホール効果測定装置 7 MBE 8 薄膜評価装置 9 PL測定装置
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