Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University

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設備・装置3F

目次

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1 研削装置 2 研磨装置 3 全真空顕微FT-IR 4 フリップチップボンダ #1 5 マイクロシステムアナライザ (MSA-500) 6 紫外可視近赤外分光光度計 7 高周波レーザドップラ計 8 接合力評価装置 9 レーザダイサ 10 インピーダンス/マテリアルアナライザ 11 マイクロシステムアナライザ (MSA-400) 12 ワイヤボンダ #2 1 ボール盤 2 基板加工装置 3 卓上旋盤 4 フライス盤
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