Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University

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利用案内

目次

概要

MNCの設備・装置は共用であり、多くの人に実質的に利用されるように努めています。MNCは東北大学学内・学外(企業、他大学、国立機関、外国の大学・研究所)を問わず,どなたでも利用できます。装置の維持を研究者や学生の手で行っているので、試作や分析の請負をするのではなく、装置担当者の指導を受けて直接に装置を運転して研究していただく方針を基本にしています。従ってメンテナンスにもご協力いただいています。装置の状況は電子メールにより関係者全員にお知らせしています。

利用の方針

MNCではマイクロマシニング(半導体微細加工技術)を中心としたハイテク技術をできるだけ多くの方々が習得し、高いレベルの研究を具体化し、 産業を生み出すような実用的なデバイスを実現することに広く貢献できることを目指しています。そのため、装置の使用においては利用者自身が使用方法を十分理解し、十分な性能を発揮するよう装置の維持を心がけ、次の使用者のことを考えて後処理やメンテナンスに参加することを基本としています。相互の情報交換と協力により、利用しやすい設備とレベルの高い研究を維持したいと考えています。

利用登録の流れ

利用登録の流れ
以下のサービスを随時ご利用可能
  • プロセス相談
  • 初心者微細加工講習
  • 電子顕微鏡(SEM)におけるサンプル作製や観察方法の指導

1.責任者登録申請書

2.利用者登録申請書

学内の方

学外の方

3.安全講習

学内の方

例年10月頃、MNCメーリングリスト登録者に安全講習に関する詳細をお送りしています。10月以外の新規登録の方や安全講習に参加できなかった方はgoogle classroomでの視聴になりますので,所属研究室(MNCに登録済みの方や研究室利用責任者)にご確認ください。

安全講習会資料はこちら

学外の方

以下のMNCウェブページからダウンロード、視聴してください。

学外の方向けファイル

視聴希望の方はお問い合わせフォームよりパスワードをお問い合わせください。

重要な注意

はじめて利用登録する方

問い合わせフォーム経由で申請します.その際,(1)問い合わせ内容へテストの結果とパスコードの入力,(2)利用責任者メールアドレスの入力,(3)利用者登録申請書の添付,を必ず行ってください.

更新の方

テストの結果とパスコードを自分の所属研究室のスタッフに知らせてください.

利用形態

利用形態
学内ユーザーは自由にご利用いただけます。企業のユーザーは東北大の研究室を通してご利用いただけますが、共同研究や学術指導の手続きをお願いすることもあります。
利用テーマ
本学で禁じている研究でなければ、基本的に制限はありません。テーマの審査等はMNCでは行っていません。
利用申請
申請は随時受け付けていますが、登録手続きは完全予約制です。利用者は必ずMNC利用登録手続きを行ってください。
利用期間
基本的に制限はありません。いつでも開始し、終了できます。
利用経費
消耗品の利用者負担と機器使用料、技術指導料を基本にしています。
特許について
特許の取得を推奨しています。特許の申請については実施した研究形態 (共同研究、文部科学省科学研究等) の取り決めに従ってください。

利用する上で必要なもの

MNCをご利用いただくためには利用登録されていることが前提となります。
利用登録がお済みで無い方は、はじめに利用登録をお願いいたします。
以下ではMNCを利用する上で適宜ご用意していただく物を紹介いたします。

1) 上履き

館内は土足厳禁です。
MNCでは共用の上履き(スリッパ)を用意しておりません。
ただし、安全面の観点から原則として上履きをご利用いただくようにお願いしております。
各自で上履きをご持参くださいますようお願いいたします。

2) クリーンルーム利用のための準備

マイクロマシニング棟の1階およびナノマシニング棟にはクリーンルームを整備しております。
クリーンルームをご利用になるためにはクリーンウェアと専用の筆記具をご準備ください。
(以下のルールは皆さんの試料をホコリから守るためのルールです。ご協力くださいますようお願いいたします。)

クリーンウェア(防塵服)

クリーンルームをご利用になるにはクリーンウェア(防塵服)が必要です。
各自でご持参くださいますようお願いいたします。
MNCではツナギタイプのクリーンウェアのみを許可しております。
また、以下の仕様のクリーンウェアを推奨しております。

  1. クラス100対応
  2. ブーツはロングタイプ
  3. フードは目出しタイプ(写真参照)
クリーンウェア仕様

筆記用具(マイクロマシニング棟のクリーンルーム)

以下の筆記用具のみ利用可能です。

  1. クリーンペーパーおよびクリーンノート
  2. ボールペン(キャップ式推奨)

*鉛筆や普通紙の持ち込みは許可されておりません。

*携帯電話・スマートフォンの持ち込みは可能ですが、手帳型のスマホケースは外してご利用ください。

筆記用具(ナノマシニング棟のクリーンルーム

ナノマシニング棟クリーンルームもクリーンペーパー(クリーンノート)とボールペンの利用を推奨しております。
可能な限りクリーンルーム用の筆記用具をご準備ください。

*鉛筆の持ち込みは許可されておりません。

*マイクロマシニング棟の2階および3階では筆記用具の制限はございません。

なお、クリーンルーム用のフェイスマスクとゴム手袋はMNCで用意したものをご利用いただけます。

ご不明点がございましたら、遠慮なくお問い合わせフォームからご質問ください。

技術指導についての注意事項

技術部による技術指導をご利用いただきありがとうございます。
技術指導を利用されるにあたっては、以下をご承知おき下さるようお願いいたします。

技術指導はあくまでも”指導”であり、技術職員から作業方法を学ぶのが主旨です。
しかしながら、作業委託と誤解されている例が見受けられれますのでご注意ください。

技術指導を受けた後は、ご自分で作業をするのが前提です。
ご理解、ご協力のほど、どうぞよろしくお願いいたします。

MNCメーリングリスト

MNCメーリングリストとは

MNCの利用者は500人を超え、さらに増加する勢いです。 また、MNCには多種多様な装置が有り、これらの装置は基本的に自由に利用していただいています。
このような多数の利用者の方々に、円滑に施設を利用して頂くためには、各種の情報を利用者の方々にお知らせする必要があります。このような情報を提供する目的で、現在メーリングリストを運営しています。

どのような情報が提供されているのですか?

  • 装置の故障やメンテナンスについての情報
  • 装置や施設の利用方法の変更についての情報
  • 利用者が知っておくべき一般的な情報
  • MNCに関係するセミナーやイベントの情報 etc.

多い時で1日当たり10通程度です。

どのような人がメーリングリストに加入するべきですか?

基本的に、利用登録者は全員加入していただくことにしています。また、各研究室の利用責任者の方は、特に重要な連絡について、研究室の利用者に周知徹底して頂けるようお願いします。

登録(脱会)方法は?

登録は基本的に、MNC利用登録により行われます。リストから脱会を希望される場合はお問い合わせフォームまで所属及び、氏名をご連絡ください。

パソコン・ネットワーク関係情報

ウィルス対策ソフトのインストール法

はじめに、ウィルス対策ソフトが入っていないパソコンは、MNCのネットワークに接続することを禁止します。

東北大学では、情報シナジーセンターが提供するウィルス対策ソフトを利用することができます。MNCに常時置いておくパソコンや、頻繁に接続するパソコンについては、かならずインストールをお願いいたします。
ウィルス情報を自動でアップデートしますので、アップデートを忘れる心配がありません。各自のウィルス対策ソフトを利用しても構いませんが、ライセンス切れなどの無いよう、その場合、アップデートを忘れないでください。

インストール方法

東北大学総合情報ネットワークシステムの当該ページをご覧ください。
東北大学総合情報ネットワークシステム セキュリティ対策ソフトウエア