設備・装置

目次

• 館内地図
• 主な共用装置

館内地図

• 1F クリーンルーム
• 2F
• 3F
• ナノマシニング棟

その他建物 量子棟－XRD#1(D8 ADVANCE)

主な共用装置

• 
  リソグラフィ・露光・描画装置
• 
  成膜・膜堆積
• 
  膜加工・エッチング
• 
  合成、熱処理、ドーピング
• 
  表面処理
• 
  接合・研磨・パッケージング
• 
  形状・形態観察、分析
• 
  試料作製装置
• 
  電気計測
• 
  機械計測
• 
  その他