Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University
- 目次
電気計測
4-probe resistivity meter
| メーカー名（型式） | KYOWARIKEN (K-705RS) |
| 用途 | 導電薄膜の電気抵抗測定 |
| サンプルサイズ | 最大⌀4 inch |
| 適用例 | 絶縁膜上にスパッタした金属薄膜のシート抵抗測定 |
| 主な仕様 | 測定モード：抵抗（Ω）、シート抵抗（Ω/□）、抵抗率（Ω∙cm） |
| 備考 | |
Hall effect measurement
| メーカー名（型式） | 自作 |
| 用途 | 伝導型の判定、キャリア密度の評価、移動度の評価 |
| サンプルサイズ | □8 mm |
| 適用例 | GaN, Siの移動度・キャリア密度測定 |
| 主な仕様 | 真空環境で測定可、ステージ温度：最大400 K（断熱膨張による液体窒素冷却可） |
| 備考 | |
14GHZ Network Analyzer(E5063A)
| メーカー名（型式） | キーサイト（E5071C） |
| 用途 | 共振子のインピーダンス特性、フィルタの周波数特性、タイムドメイン特性、VSRW等 |
| サンプルサイズ | プローバ測定：□20 mm–⌀4 inch、プローバ以外の測定ではサイズは問わない |
| 適用例 | SAWデバイス、BARデバイスの共振子やフィルタのインピーダンス、フィルタ特性、タイムドメイン特性など |
| 主な仕様 | 上限14 GHz |
| その他 | インピーダンスは50 Ωからの比較なので、極端に小さい、もしくは大きなインピーダンスの値の測定は誤差が生じる。 |
| 備考 | |
Impedance analyzer(HP4194A)
| メーカー名（型式） | HP (4194A) |
| 用途 | 各周波数（100 kHz–40 MHz）におけるインピーダンス・位相の測定が可能。また、等価回路の測定も可能。 |
| サンプルサイズ | 市販品の電子部品ほどの大きさ |
| 適用例 | 圧電材料の共振周波数測定、等価回路測定 |
| 主な仕様 | 装置の正極と負極に測定対象物を接続して、測定を行う。 |
| 備考 | |
Impedance/Material Analyzer(E4991A)
| メーカー名（型式） | Agilent (E4991A) |
| 用途 | 1 MHz–3 GHzのインピーダンス測定 |
| サンプルサイズ | 市販品の電子部品ほどの大きさ |
| 備考 | |
Wire bonder#1(L026-343)
| メーカー名（型式） | West Bond (MODEL 7700C) |
| サンプルサイズ | 2 inch程度 |
| 備考 | |
Wire bonder#2(HB16)
| メーカー名（型式） | TPT (HB16) |
| 最大発生力（荷重） | 110 g |
| 成膜温度 | 250 ℃ |
| サンプルサイズ | 2 inch程度 |
| 備考 | |
Network Analyzer(E5071C)
| メーカー名（型式） | Agilent Technologies E5071C |
| 用途 | Frequency scanning |
| 適用例 | Resonators evaluation |
| 主な仕様 | 9kHz – 4.5GHz |
| その他 | |
| 備考 | |
Signal generator(FSU)
| メーカー名（型式） | rohde & schwarz(FSU) |
| 用途 | Spectrum analyzer |
| 主な仕様 | 20Hz – 8GHz |
| その他 | |
| 備考 | |
Spectrum analyzer(ZNB 8)
| メーカー名（型式） | rohde & schwarz（ZNB 8） |
| 用途 | Network analyzer |
| 主な仕様 | 9kHz – 8.5GHz |
| その他 | |
| 備考 | |
Impedance analyzer(ZGA5920)
| メーカー名（型式） | NF – ZGA5920 |
| 用途 | Impedance measurement |
| 適用例 | impedance measurement |
| 主な仕様 | 1mHz – 10MHz |
| その他 | |
| 備考 | |
