設備・装置ナノマシニング棟

画像内番号をクリックすると、該当する装置を確認することができます。

• 1プラズマCNT-CVD
• 2UHV-STM & AFM
• 3ESCA分析装置
• 4走査型プローブ顕微鏡 (Shimazu)
• 5走査型プローブ顕微鏡 (Olympus)
• 6微小振動計測装置
• 7投影露光装置
• 8レーザ描画装置 #2
• 9パターンジェネレータ
• 10簡易マスク作製装置
• 11アルバック2インチスパッタ装置