施設概要

本施設内の設備・装置は共用です。皆様のご利用をお待ちしております。是非お気軽にお問い合わせください。

経緯と目的

東北大学大学院工学研究科附属マイクロ・ナノマシニング研究教育センターは、平成7年度政府補正予算による「大学院を中心とした独創的研究開発推進経費」で発足した施設です。東北大学では「センサ・マイクロマシンの研究開発（マイクロ・ナノマシニング）」を研究・教育テーマに掲げ、全学的な協力体制でこの計画を推進しております。目的は次の3点です。

1. 新産業創出に結びつく実践的で独創的な研究開発プログラムの推進
2. 高度の専門的職業能力を持ちベンチャー精神に富んだ創造的人材の育成
3. 大学院専用の教育研究施設と大型特別設備の整備

施設の役割

大学院生を中心とした若手研究者の自由な発想や創造性の養成、研究科・専攻の枠を越えた学際的な協同による幅広い資質を持つ人材の育成、国内企業や他大学等の研究者を受け入れた共同研究、特別招聘外国人研究員のような国外からの研究者の受入、若手研究者による海外調査のような国際交流などを積極的に実施し、その成果を世界中に発信します。

ハイテク技術は総合技術です

ハイテク技術は大規模な集積化を目指す総合技術ですので、さまざまな設備や知識が不可欠です。研究室がそれぞれ独自に高価な設備を抱えて研究すると無駄が多くなるため、設備を共同で利用する工夫が必要になります。

マイクロマシニング棟

「マイクロマシニング棟」は600平方メートルのクリーンルームを持ち、本格的にMEMSデバイス／集積回路を実現できる環境です。1階のクリーンルームでは、維持のし易さを優先して2センチメートル角および直径2インチの小径シリコンウェハを処理するようになっています。本格的なMEMSデバイス／集積回路を大学内で試作できる施設として整備しておりますので、大いに利用してください。2階および3階には、サンプルの測定、評価、分析などが行える実験室があります。

ナノマシニング棟

「ナノマシニング棟」は150平方メートルのクリーンルームで、ナノマシニング関連の研究に利用しやすい環境になっています。フォトマスク製造関連装置の他、レーザ描画装置や長焦点の投影露光装置、走査型プローブ顕微鏡関連装置などが設置されています。

組織と運営

MNCの歩み

歴代センター長