1F クリーンルーム
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イエロールーム
- 1EVG mask aligner
- 2EVG接合用基板洗浄
- 3EVGプラズマ活性化装置
- 4ドラフト
- 5二流体洗浄装置
- 6スピンコータ、オーブン
- 7レーザ描画装置 #1
- 8Mask aligner (SUSS) #1
- 9Mask aligner (SUSS) #2
- 10HMDS処理装置
- 11スピンコータ
- 12高温乾燥機
- 13静電塗布装置
メインクリーンルーム
- 1ドラフト
- 2水素アニール炉
- 3熱酸化炉
- 4LP-CVD
- 5接触式段差計
- 6UV照射機
- 74探針測定器
- 8RTA #1
- 9ICP-RIE #3
- 10プラズマ/オゾンTEOS CVD
- 11プラズマTEOS CVD
- 12ICP-RIE #1
- 13エリプソメータ
- 14プラズマSiN-CVD
- 15O2アッシャ
- 16SiNエッチャ
- 17SiCN Cat-CVD
- 18CCP-RIE #3
- 19CCP-RIE #2
- 20二周波励起RIE
- 21EVG wafer bonder
- 22超臨界CO2乾燥装置
- 23ICP-RIE #2
- 24有磁場ICP-RIE
- 25CCP-RIE #1
- 26FAB
- 27イオンビームミリング装置
- 28イオン注入装置
- 29UHV-CVD
- 30汎用アッシャー