Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University
- 目次
機械計測
薄膜評価装置
| メーカー名（型式） | NEC三栄（MH4000） |
| 用途 | 硬度、付着力、ヤング率、内部応力を測定。 |
| サンプルサイズ | 最大□20 mm（測定内容により異なる。） |
| 適用例 | 薄膜の硬度測定。 |
| 主な仕様 | 荷重範囲：0.98 μN–98 mN、押込み深さ測定範囲：0–5 μm |
| 備考 | |
高周波レーザードップラ計
| メーカー名（型式） | ポリテック（UHF-120） |
| 用途 | 数100 MHz面内振動測定 |
| サンプルサイズ | 4 inch（□20 mm程度が好ましい） |
| 適用例 | SAW素子で励振された表面弾性波の測定。 |
| 主な仕様 | 測定範囲：2–1200 MHz（50–800 MHzが好ましい）、平面分解能：1 μm |
| その他 | レーザー（532 nm, 5 mW, Class 3R）、使用時は安全メガネ着用 |
| 備考 | |
マイクロシステムアナライザ
| メーカー名（型式） | Polytec (MSA-400, MSA-500) |
| 用途 | 面内振動計測、面外振動計測、表面形状計測 |
| サンプルサイズ | 対物レンズによる。 |
| 適用例 | 面外振動の共振周波数計測、面内振動の振動観察、表面形状観察 |
| 主な仕様 | レーザドップラ振動計、ストロボスコープビデオ顕微鏡、白色光干渉計 |
| 備考 | |
微小振動計測装置
| メーカー名（型式） | ネオアーク（MLD-350） |
| 用途 | 2点同時面外振動計測、最大1.5 MHz |
| サンプルサイズ | 最大20 mm（対物角・対物レンズによる。） |
| 適用例 | 面外振動の2点同時計測における差分計測 |
| 主な仕様 | レーザードップラ振動計 |
| 備考 | |
レーザードップラ振動計
| メーカー名（型式） | ネオアーク（MLD-102-IZ） |
| 用途 | 光ヘテロダイン法による微小振動計測装置。面外・面内計測可能。 |
| サンプルサイズ | ステージサイズ100 mm四方 |
| 適用例 | 機械振動子の振動測定 |
| 主な仕様 | レーザ光源：He-Neレーザ、応答周波数：DC–100 kHz（縦横）、最小分解能：0.01 μm（縦）／0.04 μm（横） |
| 備考 | |
圧縮引張試験機
| メーカー名（型式） | Zwick (Zwickline Z0.5TN) |
| 用途（特徴） | 圧縮引張試験 |
| サンプルサイズ | 最大85 × 50 mm |
| 適用例 | 応力歪曲線の取得。 |
| 主な仕様 | 最大荷重：500 N、速度：0.5 μm/min–2000 mm/min、分解能：0.083 μm、位置精度：±2 μm、測定精度：2 N |
| 備考 | |
接合力評価装置
| メーカー名（型式） | RHESCA (PTR-1101) |
| 用途 | ウェハボンディングの接合力破壊評価用 |
| サンプルサイズ | 接合面積は5 mm2以下が望ましい（シェア最大加重100 kg） |
| 適用例 | 接合面積1 mm2におけるAu-Au熱圧着接合・Si-Si直接接合の接合シェア強度の評価。 |
| 主な仕様 | センサ加重範囲：シェア：100 gf–100 kgf、プル・プッシュ：20 gf–20 kgf |
| 備考 | |
