Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University
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電気計測
4探針測定器
メーカー名(型式) | KYOWARIKEN (K-705RS) |
用途 | 導電薄膜の電気抵抗測定 |
サンプルサイズ | 最大⌀4 inch |
適用例 | 絶縁膜上にスパッタした金属薄膜のシート抵抗測定 |
主な仕様 | 測定モード:抵抗(Ω)、シート抵抗(Ω/□)、抵抗率(Ω∙cm) |
備考 | |
ホール効果測定装置
メーカー名(型式) | 自作 |
用途 | 伝導型の判定、キャリア密度の評価、移動度の評価 |
サンプルサイズ | □8 mm |
適用例 | GaN, Siの移動度・キャリア密度測定 |
主な仕様 | 真空環境で測定可、ステージ温度:最大400 K(断熱膨張による液体窒素冷却可) |
備考 | |
LSI テスタ
メーカー名(型式) | アドバンテスト(T6573) |
用途 | LSIのテストを行う装置 |
サンプルサイズ | ウェハプローブステーションを参照 |
適用例 | 自作LSIの機能テスト、FVカーブ |
主な仕様 | 基本テストレート:最高125 MHzの試験周期、端子:512ピン、テストパター長:最高16 MBit |
その他 | 基本的には測定ごとにパフォーマンスボード(テスタピンとのインタフェースボード)を用意(購入)して利用してもらう.少端子であれば共用ボードあり.メーカーによる保守対応外 |
備考 | |
14GHzネットワークアナライザ
メーカー名(型式) | キーサイト(E5071C) |
用途 | 共振子のインピーダンス特性、フィルタの周波数特性、タイムドメイン特性、VSRW等 |
サンプルサイズ | プローバ測定:□20 mm–⌀4 inch、プローバ以外の測定ではサイズは問わない |
適用例 | SAWデバイス、BARデバイスの共振子やフィルタのインピーダンス、フィルタ特性、タイムドメイン特性など |
主な仕様 | 上限14 GHz |
その他 | インピーダンスは50 Ωからの比較なので、極端に小さい、もしくは大きなインピーダンスの値の測定は誤差が生じる。 |
備考 | |
インピーダンスアナライザ
メーカー名(型式) | HP (4194A) |
用途 | 各周波数(100 kHz–40 MHz)におけるインピーダンス・位相の測定が可能。また、等価回路の測定も可能。 |
サンプルサイズ | 市販品の電子部品ほどの大きさ |
適用例 | 圧電材料の共振周波数測定、等価回路測定 |
主な仕様 | 装置の正極と負極に測定対象物を接続して、測定を行う。 |
備考 | |
インピーダンス/マテリアルアナライザ
メーカー名(型式) | Agilent (E4991A) |
用途 | 1 MHz–3 GHzのインピーダンス測定 |
サンプルサイズ | 市販品の電子部品ほどの大きさ |
備考 | |
ワイヤボンダ#1
メーカー名(型式) | West Bond (MODEL 7700C) |
サンプルサイズ | 2 inch程度 |
備考 | |
ワイヤボンダ#2
メーカー名(型式) | TPT (HB16) |
最大発生力(荷重) | 110 g |
成膜温度 | 250 ℃ |
サンプルサイズ | 2 inch程度 |
備考 | |