Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University

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設備・装置電気計測

目次

電気計測

4探針測定器

4 探針測定器
メーカー名(型式)KYOWARIKEN (K-705RS)
用途導電薄膜の電気抵抗測定
サンプルサイズ最大⌀4 inch
適用例絶縁膜上にスパッタした金属薄膜のシート抵抗測定
主な仕様測定モード:抵抗(Ω)、シート抵抗(Ω/□)、抵抗率(Ω∙cm)
備考

ホール効果測定装置

ホール効果測定装置
メーカー名(型式)自作
用途伝導型の判定、キャリア密度の評価、移動度の評価
サンプルサイズ□8 mm
適用例GaN, Siの移動度・キャリア密度測定
主な仕様真空環境で測定可、ステージ温度:最大400 K(断熱膨張による液体窒素冷却可)
備考

LSI テスタ

LSI テスタ
メーカー名(型式)アドバンテスト(T6573)
用途LSIのテストを行う装置
サンプルサイズウェハプローブステーションを参照
適用例自作LSIの機能テスト、FVカーブ
主な仕様基本テストレート:最高125 MHzの試験周期、端子:512ピン、テストパター長:最高16 MBit
その他基本的には測定ごとにパフォーマンスボード(テスタピンとのインタフェースボード)を用意(購入)して利用してもらう.少端子であれば共用ボードあり.メーカーによる保守対応外
備考

14GHzネットワークアナライザ

14GHz ネットワークアナライザ
メーカー名(型式)キーサイト(E5071C)
用途共振子のインピーダンス特性、フィルタの周波数特性、タイムドメイン特性、VSRW等
サンプルサイズプローバ測定:□20 mm–⌀4 inch、プローバ以外の測定ではサイズは問わない
適用例SAWデバイス、BARデバイスの共振子やフィルタのインピーダンス、フィルタ特性、タイムドメイン特性など
主な仕様上限14 GHz
その他インピーダンスは50 Ωからの比較なので、極端に小さい、もしくは大きなインピーダンスの値の測定は誤差が生じる。
備考

インピーダンスアナライザ

インピーダンスアナライザ
メーカー名(型式)HP (4194A)
用途各周波数(100 kHz–40 MHz)におけるインピーダンス・位相の測定が可能。また、等価回路の測定も可能。
サンプルサイズ市販品の電子部品ほどの大きさ
適用例圧電材料の共振周波数測定、等価回路測定
主な仕様装置の正極と負極に測定対象物を接続して、測定を行う。
備考

インピーダンス/マテリアルアナライザ

インピーダンス/マテリアルアナライザ
メーカー名(型式)Agilent (E4991A)
用途1 MHz–3 GHzのインピーダンス測定
サンプルサイズ市販品の電子部品ほどの大きさ
備考

ワイヤボンダ#1

ワイヤボンダ#1
メーカー名(型式)West Bond (MODEL 7700C)
サンプルサイズ2 inch程度
備考

ワイヤボンダ#2

ワイヤボンダ#2
メーカー名(型式)TPT (HB16)
最大発生力(荷重)110 g
成膜温度250 ℃
サンプルサイズ2 inch程度
備考