合成、熱処理、ドーピング
高温乾燥機
| メーカー名（型式） | ADVANTEC (DRD360DA) |
|---|---|
| その他 | 使用温度範囲：50℃–650℃ |
| 備考 |
イオン注入装置
| メーカー名（型式） | ULVAC (IMX-3500) |
|---|---|
| 用途（特徴） | 半導体ドーパントの注入 |
| 主な仕様 | イオン種：B, P, As、注入エネルギー：5–150 keV |
| サンプルサイズ | 最大⌀8 inch |
| その他 | |
| 備考 |
Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University
| メーカー名（型式） | ADVANTEC (DRD360DA) |
|---|---|
| その他 | 使用温度範囲：50℃–650℃ |
| 備考 |
| メーカー名（型式） | ULVAC (IMX-3500) |
|---|---|
| 用途（特徴） | 半導体ドーパントの注入 |
| 主な仕様 | イオン種：B, P, As、注入エネルギー：5–150 keV |
| サンプルサイズ | 最大⌀8 inch |
| その他 | |
| 備考 |