Micro/Nano-Machining Research and Education Center, Tohoku University

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ナノマシニング棟

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ナノマシニング棟
1 Plasma CNT-CVD 2 UHV-STM & AFM 3 ESCA 4 SPM (Shimazu, 9500J2) 5 Olympus SPM 6 Micro vibration measurement system 10 Simple photo-mask maker(MM605AT) 11 2inch RF magnetron sputter(Ulvac)
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