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特許

 

【54】 干渉リソグラフィにおける2次元パターンの一括露光手法 特許公開2014-99529

【53】 回折格子を用いた3次元干渉計参照面の校正方法,および3次元干渉計 特許公開2013-160742

【52】 平滑面検査装置 発明者:清水裕樹,高偉,盧文剣 出願日:2012-04-23 出願番号:2012-097818

【51】 表面形状測定方法及びその装 置 発明者 伊東 聡、高 偉、清水 裕 樹、李 康源 出願日 2012年3月1日 出願番号 特許出願2012-045595

【50】 干渉計参照面の校正方法 発明者 高偉,清水裕樹,伊東聡,金 于載 出願日 2012年2月9日 出願番号 特許出願2012-025720

【49】 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定装置 発明者 清水 裕樹,張城豪,高 偉,浅井岳見,伊東聡 出願日 2011年12月14日 出願番号 特許出願2011-272901

【48】 ステージ機構およびその駆動 方法 発明者 清水裕樹,高偉,盧文剣 出願日 2011年11月24 出願番号: 特許出願2012-256202

【47】 間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法 発明者 高 偉,後藤成晶, 清 水 裕樹,細渕 啓一郎 出願日 2011年6月28日 出願番号 特許出願2011-143176

【46】 スピンドルを用いた計測シス テムにおけるプローブの高精度芯出し法 発明者 後藤成晶, 高 偉 出願日 2010年11月26日 出願番号 特許出願2010-263995

【45】 回折格子の形状誤差評価方法 発明者 木村 彰 秀, 高 偉 出願日 2010年1月14日 出願番号 特許出願2010-005817

【44】 光学式エンコーダの設計方法 発明者 高 偉,木村 彰 秀,細野 幸治 出願日 2010年1月14日 出願番号 特許出願2010-005817

【43】 3次元微細形状のスティッチング加工方法 発明者 高 偉,盧泳辰 出願日 2009年9月8日 出願番号 特許出願2009-207046 登録番号 特許第5334054号

【42】 突出形状測定装置および突出 形状測定方法およびプログラム 発明者 高 偉,チョイヘイミン,盧泳辰,荒井義和,福田 努,荒川訓明,加藤明 出願日 2009年7月31日 出願番号 特許出願2009-179280

【41】 角度センサ 発明者 高 偉,齊藤悠佑,荒井義和,鈴木達郎 出願日 2008年10月21日 出願番号 特許出願2008-270404 登録番号 特許第5322099号

【40】 タッピング型スタイラスおよ び接触式変位センサ 発明者 荒井義和,高 偉,吉川泰 生,澁谷 篤史,長池康史 出願日 2008年9月18日 出願番号 特許出願2008-239525 登録番号 特許第5297735号

【39】 アクチュエータ,位置決め装 置 発明者 相澤周二,岡本幸二,佐藤正 一,高 偉,荒井義和,勝又大介 出願日 2008年1月8日 出願番号 特許出願2008-1558 登録番号 特許第5305380号

【38】 加工装置 発明者 高 偉,盧泳辰,荒井義 和,小田桐広和 出願日 2007年12月14日 出願番号 特許出願2007-324022 登録番号 特許第5148259号

【37】 マイクロスタイラス 発明者 高 偉,吉川泰生 出願日 2007年1月23日 出願番号 特許出願2007-13180

【36】 レンズモジュール 発明者     西宮幸雄,冨羽美帆,山崎大輔,米澤友浩,相澤周二,本多和徳,高偉 出願日   2006年9月26日 出願番号    特許出願2006-260222 登録番号 特許第4214268号

【35】 長尺工具エッジの曲率半径の 計測装置及び長尺工具エッジ曲率半径の計測方法 発明者     高 偉,元木健順 出願日   2006年8月31日 出願番号    特許出願2006-234981

【34】 アクチュエータ及びそれを用 いた位置決め装置 発明者     高 偉 出願日   2006年7月14日 出願番号    特許出願2006-194418 登録番号 特許第5176098号

【33】 微細形状加工装置 発明者     高 偉,田野 誠,清野  慧 出願日   2006年6月7日 出願番号    特許出願2006-159154 登録番号 特許第4898310号

【32】 XYZ軸変位測定装置 発明者     高 偉,木村 彰秀,清 野 慧 出願日   2006年5月15日 出願番号    特許出願2006-134850 登録番号 特許第4779117号

【31】 エッジ部の真直度測定方法 発明者     高 偉,田野 誠,安竹 睦実,加藤 明 出願日   2006年4月18日 出願番号    特許出願2006-114830 登録番号 特許第5068473号

【30】 3軸角度センサ 発明者     高 偉,齊藤悠佑,清野  慧 出願日   2006年2月20日 出願番号    特許出願2006-042380

【29】 位置決め装置 発明者     清野 慧,高 偉,清水 浩貴,澁谷 篤史,元木健順 出願日   2005年9月22日 出願番号    特許出願2005-276377

【28】 一体型θ-Zアクチュエータ 発明者     高 偉,佐藤真路,清野 慧 出願日   2005年7月29日 出願番号    特許出願2005-219823 登録番号 特許第426516号

【27】 表面形状計測装置 発明者     高  偉,澁谷 篤史,清野 慧 出願日   2005年4月1日 出願番号    特許出願2005-124052 登録番号 特許第4982731号

【26】 計測加工一体型装置 発明者     高 偉,清野 慧 出願日   2004年12月2日 出願番号    特許出願2004-349434 登録番号 特許第4528937号

【25】 小型角度センサ 発明者     高 偉,清野 慧,佐藤 隼人 出願日   2004年10月13日 出願番号    特許出願2004-299194

【24】 基準格子及びその製造方法 発明者     平田 徹,高 偉 出願日   2004年9月24日 出願番号    特許出願2004-277701 公開番号 特許公開2006-88552

【23】 転写装置 発明者     高 偉,平林 龍太郎, 広瀬 純,富田 良幸 出願日   2004年8月25日 出願番号    特許出願2004-277701 公開番号 特許公開2006-64455

【22】 検出装置及びステージ装置 発明者     高 偉,清野 慧,渡辺  陽司,富田 良幸,牧野 健一,平田 徹 出願日   2004年6月29日 出願番号    特許出願2004-191828 公開番号 特許公開2006-010645

【21】 検出装置 発明者     清野 慧,渡辺陽司,高  偉,清水浩貴 出願日   2004年5月7日 出願番号    特許出願2004-138062 公開番号 特許公開2005-321241

【20】 検出装置及びステージ装置 発明者     高 偉,清野 慧,富田  良幸,渡辺 陽司 出願日   2004年4月27日 出願番号    特許出願2004-131886 公開番号 特許公開2005-315649

【19】 探針の位置合わせ方法、形状 測定方法、測定装置 発明者     高 偉,清野 慧,元木 健順,大脇俊章,早川元雄,竹本隆志 出願日   2004年4月23日 出願番号    特許出願2004-127678 公開番号 特許公開2005-268608

【18】 ステージ装置 発明者     高 偉,清野 慧,富田  良幸,田野 誠 出願日   2004年3月19日 出願番号    特許出願2004-080603 公開番号 特許公開2005-308605

【17】 スロットダイ測定装置 発明者     高 偉,清野 慧,古川  勝,安竹 睦実,高橋和彦,金山 利彦,菱田 幸敏 出願日   2004年2月4日 出願番号    特許出願2004-28060 公開番号 特許公開2005-221305

【16】 エッジ間距離測定装置および エッジ間距離測定方法およびプログラム 発明者     高 偉,清野 慧,古川  勝,安竹 睦実,高橋和彦 出願日   2004年1月30日 出願番号    特許出願2004-23939 公開番号 特許公開2005-214866

【15】 スリット幅測定装置及びス リット幅測定方法及びプログラム 発明者     高 偉,清野 慧,古川  勝,安竹 睦実,高橋和彦,福田 努 出願日   2004年1月30日 出願番号    特許出願2004-023938 公開番号 特許公開2005-214865 登録番号 特許第4111395号

【14】 エッジ間距離測定装置および エッジ間距離測定方法 発明者     高 偉,清野 慧,古川  勝,安竹 睦実,高橋和彦,福田 努 出願日   2004年1月30日 出願番号    特許出願2004-23937 公開番号 特許公開2005-214864

【13】 溝面形状測定装置および溝面 形状測定方法及びプログラム 発明者     高 偉,清野 慧,古川  勝,安竹 睦実,高橋和彦,金山利彦,菱田幸敏 出願日   2002年8月2日 出願番号    特許出願2007-198026 登録番号 特許第4151797号

【12】 溝面形状測定装置および溝面 形状測定方法及びプログラム 発明者     高 偉,清野 慧,古川  勝,安竹 睦実,高橋和彦,金山利彦 出願日   2002年8月2日 出願番号    特許出願2002-226630 公開番号 特許公開2004-069394 登録番号 特許第4151778号

【11】 エッジ間距離測定装置及び エッジ間距離測定方法及びプログラム 発明者     高 偉,清野 慧,古川  勝,安竹 睦実,高橋和彦,金山利彦 出願日   2002年8月2日 出願番号    特許出願2002-226629 公開番号 特許公開2004-069393 登録番号 特許第3969529号

【10】 内面検査装置 発明者     清 野 慧,高 偉,五味誉人,松原光作 出願日   2002年5月9日 出願番号    特許出願2002-134562 公開番号 特許公開2003-329606

【9】 非球面形状測定機 発明者     清野 慧,高 偉,清水 浩貴,荒井義和 出願日   2002年3月22日 出願番号    特許出願2002-080043 公開番号 特許公開2003-279345

【8】 光学式測定装置 発明者     清野 慧,高 偉, 清水浩貴,荒井義和 出願日   2001年11月29日 出願番号    特許出願2001-363586 公開番号 特許公開2003-161610

【7】 表面形状測定装置 発明者     高  偉,清野 慧,Peisen S. Huang 出願日   2001年11月26日 出願番号    特許出願2001-359677 公開番号 特許公開2003-161615 登録番号 特許第3790961号

【6】 2次元角度センサ 発明者     高 偉,清野 慧 出願日   2001年11月22日 出願番号    特許出願2001-328317 公開番号 特許公開2003-156319 登録番号 特許第3817630号

【5】 測定装置 発明者     清 野 慧,奥山栄樹,高 偉,荒井 義和 出願日   2001年10月19日 出願番号    特許出願2001-321748 公開番号 特許公開2003-121127

【4】 ステージ装置 発明者     高 偉,清野 慧,富田  良幸 出願日   2001年7月9日 出願番号    特許出願2001-208525  公開番号 特許公開2003-022959 登録番号 特許第4198338号

【3】 干渉縞検出装置 発明者     清野 慧,高 偉 出願日   1997年5月30日 出願番号    特平願9-142572  公開番号 特開平10-332328

【2】 真直形状測定方法 発明者 清野 慧,高 偉,島筒  博章 出願日   1996年2月7日 出願番号    特願平8-20925 公開番号 特開平9-210668

【1】 形状測定装置 発明者 清野 慧,高 偉,奥山  栄樹 出願日   1994年3月17日 出願番号    特願平6- 47264 公開番号 特開平7-260450