ここでは機械系共同棟4階，高・松隈・佐藤研究室の設備を紹介します．
スタッフの部屋や学生が作業や実験などを行うスペースがあります．
教授室
高教授の部屋です．学生との研究方針などのディスカッションなどもこの部屋で行っています．
居室
所属学生が普段，論文などの作成などにつかう作業スペースで
各自1台机が割り当てられています．
お茶スペース
スタッフや学生が雑談などの交流に使っています．
実験室
比較的温度変化の影響を嫌う測定実験などを行っています．
超精密旋盤
三次元微細形状を高精度に創成することが可能です．
工作台
実験に使う電子回路などの製作を行います．
3Dプリンター
実験に使う装置の試作などを行います．
主要研究設備
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三次元微細形状を高精度に創成することが可能です．
インピーダンスアナライザ
オプティカルスペクトラムアナライザ
ダイナミックシグナルアナライザ
ファンクションジェネレータ
マルチメータ
マイクロスコープ
レーザ干渉計
静電容量型変位計
超高精度レーザ変位計
光ファイバー式変位計
オートコリメータ
レーザドップラ振動計
ビームスキャン
低ノイズプリアンプ
FFTアナライザ
エアスピンドル
エアスライド
ピエゾステージ
データ集録機
デジタルオシロスコープ
プーラー
送温定温乾燥器
高精度温度計
このほか以下のような設備を機械系共同棟1階に設置しています．
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スキャンサイズ： 20 µm × 20 µm (標準スキャナ使用時)
分解能: ～ 4-5 nm
試料サイズ: Φ15 mm (Max.)
SPMモード: AFM / DFM （DFM オプション使用時）
交換用スキャナ: 150 µm × 150 µm
参考： SII Nanotechnology Inc.
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観察・測定方式: 共焦点型レーザ変位計・光学顕微鏡
（バイオレットレーザ 408 nm・ハロゲンランプ）
観察倍率: 200倍～18000倍
最大試料サイズ: h 28 mm, Φ318 mm全面観察可能
高さ測定: 表示分解能0.01 µm
幅測定: 表示分解能0.01 µm
表示解像度: 1024×768 pixels
参 考： KEYENCE CORPORATION
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スキャンサイズ: XY 90 µm（クローズドループ）
Z 10 µm（センサ付）
SPMモード: タッピングAFM 位相イメージング
コンタクトAFM フォースモジュレーション 他
試料サイズ: 50 mm径
5 mm厚未満（標準試料ステージ使用時）
プローブ制御用の光センサとスキャナは一体になっています．
厚い試料を測定する場合には，試料台をご用意ください．
参 考： Veeco Instruments
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加速電圧: 0.3 kV～30 kV
分解能: 3.0 nm (30 kV)
低真空モード時: 4.0 nm (30 kV)
(低真空圧力: 1～270 Pa)
画像モード: 二次電子像（組成像、凹凸像、立体像）
最大試料寸法: 200 mm径×80 mm高
参 考： JOEL Ltd.
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測定原理: 走査型白色干渉法
試料観察: リアルタイムビデオモニタ
カメラサイズ: 320×240 pixels
垂直方向分解能: 0.1 nm
水平方向分解能: 0.46 ～ 4.87 µm （対物レンズに依存）
最大垂直段差: 100 µm
参考： Zygo Corporation
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測定原理: レーザ位相シフト型光学干渉方式
測定能力: 超平滑面, 高反射率表面, 光学面の形状全般測定, 光学素子の透過波面測定
サンプリング分解能: 320 × 240 pixels
最大試料サイズ: h 28 mm, Φ318 mm全面観察可能
レーザタイプ: He-Ne ガスレーザ
波長: 632.8 nm
参考： Zygo Corporation
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