共通設備(機械・知能系 共同棟1階 恒温室)

項目をクリックすると装置の写真がご覧いただけます.

  • 走査型プローブ顕微鏡 SPA300 / SPI3700(SII Nanotechnology Inc.)
  • 超深度 カラー 3D形状測定顕微鏡 VK-9500 GII(Keyence Corporation)
  • SPM Caliber(Bruker Nano)
  • 低真空SEM  JSM-6460LV(JEOL Ltd.)
  • 表面形状測定機 NewView100(Zygo Corporation)
  • レーザ干渉計式形状測定機 GPI XP(Zygo Corporation)
  • (準備中)表面形状・あらさ測定機 (AMETEK Co., Ltd. )
  • (準備中)加工機上測定装置(超精密非球面加工機械(Toshiba Machine Co.,Ltd))
  • ご利用希望の方は,以下の連絡先にご相談ください.

    宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01
    機械・知能系 共同棟423
    東北大学 大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻
    高・清水・松隈研究室
    電話:022-795- 6950(清水准教授)