受賞・特許
受賞
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2012年度
2011年度
2010年度
2009年度
2008年度
2007年度
- 精密工学会春季大会学術講演会ベストオーガナイザー賞
- 精密工学会秋季大会学術講演会ベストオーガナイザー賞
- IJPEM (International Journal of Precision Engineering and Manufacturing) Contribution Award
2006年度
- 精密工学会春季大会学術講演会ベストオーガナイザー賞
- 精密工学会秋季大会学術講演会ベストオーガナイザー賞
- 精密工学会秋季大会学術講演会ベストプレゼンテーション賞
2005年度
- 精密工学会春季大会学術講演会ベストオーガナイザー賞
2004年度
2003年度
- 精密工学会秋季大会学術講演会ベストプレゼンテーション賞
2001年度
- 精密工学会東北支部講演会ベストプレゼンテーション賞
2000年度
1999年度
1998年度
1997年度
- 精密工学会東北支部講演会ベストプレゼンテーション賞
1996年度
- 精密工学会東北支部講演会ベストプレゼンテーション賞
1994年度
特許
【54】 干渉リソグラフィにおける2次元パターンの一括露光手法 特許公開2014-99529
【53】 回折格子を用いた3次元干渉計参照面の校正方法，および3次元干渉計 特許公開2013-160742
【52】 平滑面検査装置 発明者：清水裕樹，高偉，盧文剣 出願日：2012-04-23 出願番号：2012-097818
【51】 表面形状測定方法及びその装 置 発明者 伊東 聡、高 偉、清水 裕 樹、李 康源 出願日 2012年3月1日 出願番号 特許出願2012-045595
【50】 干渉計参照面の校正方法 発明者 高偉，清水裕樹，伊東聡，金 于載 出願日 2012年2月9日 出願番号 特許出願2012-025720
【49】 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定装置 発明者 清水 裕樹，張城豪，高 偉，浅井岳見，伊東聡 出願日 2011年12月14日 出願番号 特許出願2011-272901
【48】 ステージ機構およびその駆動 方法 発明者 清水裕樹，高偉，盧文剣 出願日 2011年11月24 出願番号： 特許出願2012-256202
【47】 間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法 発明者 高 偉，後藤成晶, 清 水 裕樹，細渕 啓一郎 出願日 2011年6月28日 出願番号 特許出願2011-143176
【46】 スピンドルを用いた計測シス テムにおけるプローブの高精度芯出し法 発明者 後藤成晶, 高 偉 出願日 2010年11月26日 出願番号 特許出願2010-263995
【45】 回折格子の形状誤差評価方法 発明者 木村 彰 秀, 高 偉 出願日 2010年1月14日 出願番号 特許出願2010-005817
【44】 光学式エンコーダの設計方法 発明者 高 偉，木村 彰 秀，細野 幸治 出願日 2010年1月14日 出願番号 特許出願2010-005817
【43】 ３次元微細形状のスティッチング加工方法 発明者 高 偉，盧泳辰 出願日 2009年9月8日 出願番号 特許出願2009-207046 登録番号 特許第5334054号
【42】 突出形状測定装置および突出 形状測定方法およびプログラム 発明者 高 偉，チョイヘイミン，盧泳辰，荒井義和，福田 努，荒川訓明，加藤明 出願日 2009年7月31日 出願番号 特許出願2009-179280
【41】 角度センサ 発明者 高 偉，齊藤悠佑，荒井義和，鈴木達郎 出願日 2008年10月21日 出願番号 特許出願2008-270404 登録番号 特許第5322099号
【40】 タッピング型スタイラスおよ び接触式変位センサ 発明者 荒井義和，高 偉，吉川泰 生，澁谷 篤史，長池康史 出願日 2008年9月18日 出願番号 特許出願2008-239525 登録番号 特許第5297735号
【39】 アクチュエータ，位置決め装 置 発明者 相澤周二，岡本幸二，佐藤正 一，高 偉，荒井義和，勝又大介 出願日 2008年1月8日 出願番号 特許出願2008-1558 登録番号 特許第5305380号
【38】 加工装置 発明者 高 偉，盧泳辰，荒井義 和，小田桐広和 出願日 2007年12月14日 出願番号 特許出願2007-324022 登録番号 特許第5148259号
【37】 マイクロスタイラス 発明者 高 偉，吉川泰生 出願日 2007年1月23日 出願番号 特許出願2007-13180
【36】 レンズモジュール 発明者 西宮幸雄，冨羽美帆，山崎大輔，米澤友浩，相澤周二，本多和徳，高偉 出願日 2006年9月26日 出願番号 特許出願2006-260222 登録番号 特許第4214268号
【35】 長尺工具エッジの曲率半径の 計測装置及び長尺工具エッジ曲率半径の計測方法 発明者 高 偉，元木健順 出願日 2006年8月31日 出願番号 特許出願2006-234981
【34】 アクチュエータ及びそれを用 いた位置決め装置 発明者 高 偉 出願日 2006年7月14日 出願番号 特許出願2006-194418 登録番号 特許第5176098号
【33】 微細形状加工装置 発明者 高 偉，田野 誠，清野 慧 出願日 2006年6月7日 出願番号 特許出願2006-159154 登録番号 特許第4898310号
【32】 XYZ軸変位測定装置 発明者 高 偉，木村 彰秀，清 野 慧 出願日 2006年5月15日 出願番号 特許出願2006-134850 登録番号 特許第4779117号
【31】 エッジ部の真直度測定方法 発明者 高 偉，田野 誠，安竹 睦実，加藤 明 出願日 2006年4月18日 出願番号 特許出願2006-114830 登録番号 特許第5068473号
【30】 ３軸角度センサ 発明者 高 偉，齊藤悠佑，清野 慧 出願日 2006年2月20日 出願番号 特許出願2006-042380
【29】 位置決め装置 発明者 清野 慧，高 偉，清水 浩貴，澁谷 篤史，元木健順 出願日 2005年9月22日 出願番号 特許出願2005-276377
【28】 一体型θ-Zアクチュエータ 発明者 高 偉，佐藤真路，清野 慧 出願日 2005年7月29日 出願番号 特許出願2005-219823 登録番号 特許第426516号
【27】 表面形状計測装置 発明者 高 偉，澁谷 篤史，清野 慧 出願日 2005年4月1日 出願番号 特許出願2005-124052 登録番号 特許第4982731号
【26】 計測加工一体型装置 発明者 高 偉，清野 慧 出願日 2004年12月2日 出願番号 特許出願2004-349434 登録番号 特許第4528937号
【25】 小型角度センサ 発明者 高 偉，清野 慧，佐藤 隼人 出願日 2004年10月13日 出願番号 特許出願2004-299194
【24】 基準格子及びその製造方法 発明者 平田 徹，高 偉 出願日 2004年9月24日 出願番号 特許出願2004-277701 公開番号 特許公開2006-88552
【23】 転写装置 発明者 高 偉，平林 龍太郎， 広瀬 純，富田 良幸 出願日 2004年8月25日 出願番号 特許出願2004-277701 公開番号 特許公開2006-64455
【22】 検出装置及びステージ装置 発明者 高 偉，清野 慧，渡辺 陽司，富田 良幸，牧野 健一，平田 徹 出願日 2004年6月29日 出願番号 特許出願2004-191828 公開番号 特許公開2006-010645
【21】 検出装置 発明者 清野 慧，渡辺陽司，高 偉，清水浩貴 出願日 2004年5月7日 出願番号 特許出願2004-138062 公開番号 特許公開2005-321241
【20】 検出装置及びステージ装置 発明者 高 偉，清野 慧，富田 良幸，渡辺 陽司 出願日 2004年4月27日 出願番号 特許出願2004-131886 公開番号 特許公開2005-315649
【19】 探針の位置合わせ方法、形状 測定方法、測定装置 発明者 高 偉，清野 慧，元木 健順，大脇俊章，早川元雄，竹本隆志 出願日 2004年4月23日 出願番号 特許出願2004-127678 公開番号 特許公開2005-268608
【18】 ステージ装置 発明者 高 偉，清野 慧，富田 良幸，田野 誠 出願日 2004年3月19日 出願番号 特許出願2004-080603 公開番号 特許公開2005-308605
【17】 スロットダイ測定装置 発明者 高 偉，清野 慧，古川 勝，安竹 睦実，高橋和彦，金山 利彦，菱田 幸敏 出願日 2004年2月4日 出願番号 特許出願2004-28060 公開番号 特許公開2005-221305
【16】 エッジ間距離測定装置および エッジ間距離測定方法およびプログラム 発明者 高 偉，清野 慧，古川 勝，安竹 睦実，高橋和彦 出願日 2004年1月30日 出願番号 特許出願2004-23939 公開番号 特許公開2005-214866
【15】 スリット幅測定装置及びス リット幅測定方法及びプログラム 発明者 高 偉，清野 慧，古川 勝，安竹 睦実，高橋和彦，福田 努 出願日 2004年1月30日 出願番号 特許出願2004-023938 公開番号 特許公開2005-214865 登録番号 特許第4111395号
【14】 エッジ間距離測定装置および エッジ間距離測定方法 発明者 高 偉，清野 慧，古川 勝，安竹 睦実，高橋和彦，福田 努 出願日 2004年1月30日 出願番号 特許出願2004-23937 公開番号 特許公開2005-214864
【13】 溝面形状測定装置および溝面 形状測定方法及びプログラム 発明者 高 偉，清野 慧，古川 勝，安竹 睦実，高橋和彦，金山利彦，菱田幸敏 出願日 2002年8月2日 出願番号 特許出願2007-198026 登録番号 特許第4151797号
【12】 溝面形状測定装置および溝面 形状測定方法及びプログラム 発明者 高 偉，清野 慧，古川 勝，安竹 睦実，高橋和彦，金山利彦 出願日 2002年8月2日 出願番号 特許出願2002-226630 公開番号 特許公開2004-069394 登録番号 特許第4151778号
【11】 エッジ間距離測定装置及び エッジ間距離測定方法及びプログラム 発明者 高 偉，清野 慧，古川 勝，安竹 睦実，高橋和彦，金山利彦 出願日 2002年8月2日 出願番号 特許出願2002-226629 公開番号 特許公開2004-069393 登録番号 特許第3969529号
【10】 内面検査装置 発明者 清 野 慧，高 偉，五味誉人，松原光作 出願日 2002年5月9日 出願番号 特許出願2002-134562 公開番号 特許公開2003-329606
【9】 非球面形状測定機 発明者 清野 慧，高 偉，清水 浩貴，荒井義和 出願日 2002年3月22日 出願番号 特許出願2002-080043 公開番号 特許公開2003-279345
【8】 光学式測定装置 発明者 清野 慧，高 偉， 清水浩貴，荒井義和 出願日 2001年11月29日 出願番号 特許出願2001-363586 公開番号 特許公開2003-161610
【7】 表面形状測定装置 発明者 高 偉，清野 慧，Peisen S. Huang 出願日 2001年11月26日 出願番号 特許出願2001-359677 公開番号 特許公開2003-161615 登録番号 特許第3790961号
【6】 ２次元角度センサ 発明者 高 偉，清野 慧 出願日 2001年11月22日 出願番号 特許出願2001-328317 公開番号 特許公開2003-156319 登録番号 特許第3817630号
【5】 測定装置 発明者 清 野 慧，奥山栄樹，高 偉，荒井 義和 出願日 2001年10月19日 出願番号 特許出願2001-321748 公開番号 特許公開2003-121127
【4】 ステージ装置 発明者 高 偉，清野 慧，富田 良幸 出願日 2001年7月9日 出願番号 特許出願2001-208525 公開番号 特許公開2003-022959 登録番号 特許第4198338号
【3】 干渉縞検出装置 発明者 清野 慧，高 偉 出願日 1997年5月30日 出願番号 特平願9-142572 公開番号 特開平10-332328
【2】 真直形状測定方法 発明者 清野 慧，高 偉，島筒 博章 出願日 1996年2月7日 出願番号 特願平8-20925 公開番号 特開平9-210668
【1】 形状測定装置 発明者 清野 慧，高 偉，奥山 栄樹 出願日 1994年3月17日 出願番号 特願平6- 47264 公開番号 特開平7-260450