イオンビーム分析（Ion Beam Analsis）とは、イオンビームと物質との相互作用によって放出される粒子や光子などを検出・解析することにより、試料物質の元素組成、表面形態、化学状態、結晶構造などの知見が得られる分析手法です。一般的に、入射イオンには数MeVに加速したプロトンやヘリウムといった軽イオンを用います。詳細はこちらから。