スキャンサイズ： 20 µm × 20 µm (標準スキャナ使用時)
分解能: ～ 4-5 nm
試料サイズ: Φ15 mm (Max.)
SPMモード: AFM / DFM （DFM オプション使用時）
交換用スキャナ: 150 µm × 150 µm
参考： SII Nanotechnology Inc.

共焦点型レーザ変位計・光学顕微鏡
（バイオレットレーザ 408 nm・ハロゲンランプ）
観察倍率: 200倍～18000倍
最大試料サイズ: h 28 mm,　Φ318 mm全面観察可能
高さ測定: 表示分解能0.01 µm
幅測定: 表示分解能0.01 µm
表示解像度: 1024×768 pixels
参考： KEYENCE CORPORATION

スキャンサイズ: XY 90 µm（クローズドループ）
                      Z 10 µm（センサ付）
SPMモード: タッピングAFM 位相イメージング
                 コンタクトAFM フォースモジュレーション 他
試料サイズ: 50 mm径
                 5 mm厚未満（標準試料ステージ使用時）
プローブ制御用の光センサとスキャナは一体になっています．
厚い試料を測定する場合には，試料台をご用意ください．
参考： Veeco Instruments

加速電圧: 0.3 kV～30 kV
分解能: 3.0 nm (30 kV，作動距離に制限)
低真空モード時: 4.0 nm (30 kV，作動距離に制限)
(低真空圧力: 1～270 Pa)
画像モード: 二次電子像,反射電子像（組成像、凹凸像、立体像）
最大試料寸法: 200 mm径×80 mm高
参考： JOEL Ltd.

測定原理: 走査型白色干渉法
試料観察: リアルタイムビデオモニタ
カメラサイズ: 320×240 pixels
垂直方向分解能: 0.1 nm
水平方向分解能: 0.46 ～ 4.87 µm （対物レンズに依存）
最大垂直段差: 100 µm
参考： Zygo Corporation

測定原理: レーザ位相シフト型光学干渉方式
測定能力: 超平滑面, 高反射率表面, 光学面の形状全般測定, 光学素子の透過波面測定
サンプリング分解能: 320 × 240 pixels

レーザタイプ:  He-Ne ガスレーザ
波長: 632.8 nm
参考： Zygo Corporation

準備中
参考： アメテック株式会社　テーラーホブソン事業部

制御軸: 4軸
（直線X軸，Z軸，Y軸（工具調整用），ワーク主軸C軸）
最小設定単位: X，Y，Z 1 nm， C 0.0001°
ワーク（治具）真空チャック面: Φ100 mm
参考： TOSHIBA MACHINE CO.,LTD