学会発表:第81回応用物理学会秋季学術講演会 (オンライン開催) 佐藤 和重, 千葉 貴史, 寺田 昌男, 濱田 健吾, 中山 吉之, 金森 義明, 田中 宏幸, 加瀬 雅, クンプアン ソマワン, 原 史朗 「表面形状処理のためのミニマルレーザ水素アニール装置の開発」