金森義明教授の開発した水素アニールによる加工荒れの原子レベル平滑化技術と、坂口電熱(株)および産業技術総合研究所との共同による装置開発の動向について、電子デバイス産業新聞に掲載されました。
新聞名:電子デバイス産業新聞
掲載日:2020年8月27日
関連教員:金森 義明 教授
タイトル:量産見据えた装置開発が加速 ―ミニマルファブ特集―
金森義明教授の開発した水素アニールによる加工荒れの原子レベル平滑化技術と、坂口電熱(株)および産業技術総合研究所との共同による装置開発の動向について、電子デバイス産業新聞に掲載されました。
新聞名:電子デバイス産業新聞
掲載日:2020年8月27日
関連教員:金森 義明 教授
タイトル:量産見据えた装置開発が加速 ―ミニマルファブ特集―