タイトル: A submicron-comb drive ultrananocrystalline diamond actuator
著者: Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori
掲載誌: Diamond and Related Materials, Vol.169, Part B (2026) 114099.
URL：https://doi.org/10.1016/j.diamond.2026.113810
出版日：2026年8月25日