タイトル: Flexible Fishbone Waveguides Made of Single-Crystal Silicon for Terahertz-Wave Path Switching
著者: Kohei Chiba and Yoshiaki Kanamori
掲載誌: Journal of Microelectromechanical Systems, (2026) 1-11, Early Access（オンライン早期公開）
URL：https://doi.org/10.1109/JMEMS.2026.3710220
出版日：2026年7月14日