講演題目:テラヘルツ帯フォトニック集積回路に向けたサブ波長格子に基づく導波路支持構造
著者:千葉 滉平,金森 義明
発表者:千葉 滉平
発表日:2026年3月16日
講演題目:ミニマルレーザ加熱装置よる水素雰囲気表面処理の半導体 CMOS デバイスへの応用検討(Ⅲ)
著者:佐藤 和重、千葉 貴史、寺田 昌男、濱田 健吾、金森 義明、三浦 典子、池田 伸一、原 史朗
発表者:佐藤 和重
発表日:2026年3月15日
講演題目:テラヘルツ帯フォトニック集積回路に向けたサブ波長格子に基づく導波路支持構造
著者:千葉 滉平,金森 義明
発表者:千葉 滉平
発表日:2026年3月16日
講演題目:ミニマルレーザ加熱装置よる水素雰囲気表面処理の半導体 CMOS デバイスへの応用検討(Ⅲ)
著者:佐藤 和重、千葉 貴史、寺田 昌男、濱田 健吾、金森 義明、三浦 典子、池田 伸一、原 史朗
発表者:佐藤 和重
発表日:2026年3月15日