タイトル: Design and Fabrication of Capacitive Mems Actuator Array on Spoof-Surface-Plasmon-Polariton Waveguide for Active Microwave Modulation
著者: Van Minh Nguyen and Yoshiaki Kanamori
掲載誌: Advanced Photonics Research, Vol. 7, No.1 (2026) e202500228.
URL: https://doi.org/10.1002/adpr.202500228
出版日：2026年1月5日