タイトル: Design and fabrication of freestanding ultra-nanocrystalline diamond nanostructures applying to nano-electromechanical actuators
著者: Taro Ikeda and Yoshiaki Kanamori
掲載誌: Diamond and Related Materials, Vol. 158, (2025) 112617.
URL: https://doi.org/10.1016/j.diamond.2025.112617
出版日：2025年7月8日