| 超音波振動を利用した高密度渦電流形成とナノ構造体の電気的特性評価に関する研究 |
各種金属，半導体，セラミックス，高分子材料でできたナノ薄膜は，次世代集積回路の形成に不可欠であり，これらナノ薄膜の電気的特性評価が大変重要となってきている．物質中に周期的な磁場変動が生じた場合，物質表面層には導電率や透磁率に依存し，磁場の時間変動に比例した電流密度の渦電流が流れる．磁気プローブをナノ薄膜上で超音波振動させて薄膜内に局所的な高密度の渦電流を形成し．これより生じるプローブの渦電流損失を測定することでナノ薄膜の導電率を非接触評価する新しい渦電流顕微鏡法の実現を目指した研究開発を行っている．
図６ 高密度渦電流形成
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