| ジュール熱を利用したナノ材料の接合および切断に関する研究 |
物理特性に優れた各種ナノ材料をNEMS/MEMSにおける構造部材や電気的，光学的，熱的素子として利用する際に，ナノ材料同士の接合や切断が不可欠である．ナノ材料同士を接触させたナノコンタクト部に一定直流電流を付与してジュール熱を発生せしめ，これよりコンタクト部を局所的に溶融してナノ材料同士を接合する手法に関する研究開発を行っている． これまでに，ナノ材料同士を直線的に，もしくは重ねて接合することに成功すると共に，当該接合体を目的の位置から切断することに成功している．また，本接合・切断手法を利用して，電極チップ上に自立型マイクロリングを創製することにも成功している．ナノ熱電現象を生み出す異種金属なの接合体の創製に関する研究を展開している．
図４ ナノ接合の一例
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