| 金属原子の拡散現象を利用した金属ナノワイヤの創製と評価 |
ナノスケールの微細構造物の形成法として，原子や分子レベルの要素を組み合わせるボトムアップ技術に注目が集まっている．ボトムアップ技術の新しい手法として，金属原子の拡散現象を有効利用した金属ナノワイヤの創製と評価を試みている．拡散現象の１つである，エレクトロマイグレーションを有効利用し，微細なアルミニウム薄膜配線に高密度電子流を流すことで，配線アノード端に多量のアルミニウム原子を意図的に集約させることができ，アスペクト比（配線直径に対する長さの比）が100を超える金属ナノワイヤの創製を実現した．さらに創製した金属ナノワイヤの機械的および電気的特性を評価する手法に関する研究開発を行っている．
図３ 金属ナノワイヤの創製
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