| 音響共鳴現象を利用した高分解能ドライ超音波顕微鏡の開発 |
電子デバイス等の内部検査に超音波顕微鏡が利用されているが，従来法は検査時に被検査物の水没が不可欠であることからその適用が制限されている．水と被検査物との間に音響整合層として機能し得る高分子薄膜を挿入し，薄膜と被検査物との界面に圧力を付与した状態で広帯域高周波数超音波を高効率に伝達する独自の手法の研究開発を行っている．同ドライ超音波顕微鏡法により，これまで実現されていなかった水非接触下における電子デバイス内部の高分解能可視化に成功している．また，この音響共鳴現象を利用して，数μm厚さの高分子薄膜の音響物性値を高精度に計測する手法について研究開発を行っている．
図２ 高分解能ドライ超音波顕微鏡
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