第30回 超音波による非破壊評価シンポジウム

東京都立産業技術研究センター 青海本部（江東区）, 2023年1月24～25日

• 「音響共鳴映像法によるフォトレジスト膜の品質評価について」

  キム ヘリン, 燈明 泰成

  講演番号 8-2