東北大学Tohoku University
材料システム評価学分野
燈明・木村 研究室/白須 研究室
English
© 2019-Tohmyoh Laboratory
ホリデイ イン シンガポール アトリウム(シンガポール), 2025年2月27~28日
「Acoustic resonant imaging technique for characterization of photoresist properties depending on hard bake temperature」
キム ヘリン, 燈明 泰成
講演番号 B3.2