第44回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム

富山国際会議場（富山市）, 2023年11月13～15日

• 「フォトレジスト膜の音響特性に及ぼす焼成条件の影響について」

  キム ヘリン, 燈明 泰成

  講演番号 2P2-1