東北大学Tohoku University
材料システム評価学分野
燈明・木村研究室
English
© 2019-Tohmyoh Laboratory
オンライン, 2021年11月10~11日
「音響共鳴を利用したフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の測定について」
Kim Hyelin, 燈明 泰成