東北大学Tohoku University
材料システム評価学分野
燈明・木村研究室
English
© 2019-Tohmyoh Laboratory
「音響共鳴映像法によるフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の可視化」
キム ヘリン, 燈明 泰成
講演番号 104
"奨励賞" 受賞