イオンビーム分析（IBA）

イオンビーム分析（Ion Beam Analsis）とは、イオンビームと物質との相互作用によって放出される粒子や光子などを検出・解析することにより、試料物質の元素組成、表面形態、化学状態、結晶構造などの知見が得られる分析手法です。一般的に、入射イオンには数MeV級まで加速したプロトンやヘリウムといった軽イオンを用います。

当実験室は以下に示す分析手法を行うことができます。これらの手法について詳細を知りたい場合は個別にお問合せください。

• PIXE（Particle-Induced X-ray Emission）分析
• RBS（Rutheford Back Scattering）分析
• ERD（Elastic Recoil Detection）分析
• SEM（Scanning Electron Microscope）分析
• STIM/Off-Axis STIM（Scanning transmission ion microscopy）分析
• PIGE（Particle Induced Gamma Emission）分析
• NRA（Nucrear Reaction Analysis）分析
• Micron-CT分析
• PIXE-CT分析
• High-Resolution-PIXE分析（化学状態分析）