東北大学Tohoku University
Mechanics ofMaterials System
Tohmyoh Lab
Japanese
© 2019-Tohmyoh Laboratory
Online, 04/20/2022
「音響共鳴映像法によるフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の可視化」
キム ヘリン, 燈明 泰成
講演番号 104
"奨励賞" 受賞