東北大学スマートシステム超集積化研究開発センター

Smart System Super Integration Research Center, Tohoku University

2026年4月1日から、マイクロ・ナノマシニング研究教育センター（MNC）はスマートシステム超集積化研究開発センター（SIRC)へ名称を変更しました。

・CCP-RIE#3
・RF magnetron sputter (ANELVA#1)
・CCP-RIE#1
・XRD＃2
・Dicer
・Parylene evaporator